Sensor tekanan kapasitif kasusun saka rong potongan sing obah (diafragma logam elastis), rong potongan tetep (lapisan logam ing kaca cekung ing diafragma elastis ndhuwur lan ngisor), terminal output lan omah, lan liya-liyane. Rong kapasitor seri dibentuk ing antarane pelat obah lan rong pelat tetep. Nalika tekanan intake tumindak ing diafragma elastis, diafragma elastis ngasilake pamindahan, sing bakal nyuda jarak karo siji potongan tetep, lan nambah jarak karo potongan tetep liyane (bisa dituduhake nganggo selembar kertas). Jarak antarane rong elektroda logam minangka salah sawijining faktor penting sing mengaruhi kapasitansi, jarak mundhak, kapasitansi mudhun, jarak mudhun, kapasitansi mundhak. Struktur jinis iki diarani struktur diferensial ing ngendi parameter rong elemen sensor diganti kanthi jumlah sing padha nanging ngelawan amarga jumlah sing diukur.
Yen diafragma elastis diselehake ing antarane tekanan sisih lan tekanan atmosfer (rongga ndhuwur diafragma elastis iku atmosfer), tekanan sing diukur yaiku tabel; Yen diafragma elastis diselehake ing antarane tekanan sisih lan vakum (rongga ndhuwur diafragma elastis ngliwati vakum), tekanan absolut diukur. Kapasitas kapasitor sebanding karo dielektrik lan area efektif relatif antarane rong pelat kapasitor, lan proporsional kuwalik karo jarak antarane rong pelat, yaiku, C=ε A/D, ing ngendi ε minangka konstanta dielektrik dielektrik, A minangka area efektif relatif antarane rong elektroda logam, D minangka jarak antarane rong elektroda logam. Saka hubungan iki, bisa dideleng yen nalika rong parameter ora owah lan parameter liyane digunakake minangka variabel, kapasitansi bakal owah karo parameter sing owah.
Ana akeh jinis sirkuit pangukuran sing digunakake karo sensor tekanan kapasitif. Ayo padha njupuk sirkuit jembatan minangka conto kanggo nggambarake prinsip kerja sirkuit pangukuran sensor diferensial kapasitansi. Amarga kapasitansi minangka parameter AC, jembatan kasebut dieksitasi dening AC liwat transformator. Transformator loro koil lan kapasitansi jembatan, nalika ora ana tekanan inlet, jembatan seimbang, lan rong nilai kapasitansi padha karo C0, nalika efek tekanan, salah siji saka nilai kapasitansi C0 + delta C, nilai kapasitansi liyane C0 - delta, C (delta C kanggo tekanan eksternal sing disebabake dening variasi kapasitansi), minangka jembatan sing ora seimbang, Ing ngendi nilai kapasitansi dhuwur, voltase uga dhuwur, lan beda voltase diasilake antarane rong kapasitor, saka ngendi jembatan ngasilake output voltase U sing makili tekanan intake.
Wektu kiriman: 02-Sep-2022